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上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩(图)
微纳传感器 微纳加工 集成
2023/12/2
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术,该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS(IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems),每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行,至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议,主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
近日,国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS超声换能器元件及传感器”项目启动暨实施方案论证会在重庆大学顺利召开。该项目由珂纳医疗科技(苏州)有限公司牵头,联合重庆大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、中北大学、华东光电集成器件研究所、中科院微电子所、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所和杭州娃哈哈精密机械有限公司进行协同攻关。
“新型半导体与MEMS传感器技术”专题学术交流活动(图)
传感器技术 学术交流 半导体
2023/8/8
2022年5月,团队负责人赵立波教授带领团队成员景蔚萱教授、王久洪研究员、田边教授和韦学勇教授与林启敬副研究员等前往中国航空研究院631所进行了参观,双方就智能传感产业创新中心的合作进行了深入探讨和交流。
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发(图)
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/5/30
5G推进MEMS传感器行业增长 国产替代正当时
5G MEMS传感器 战略新兴产业
2021/11/26
导读:随着5G不断商用,物联网设备与设备之间的连接将变得更加顺畅,传感器也将被安装在越来越多的设备中。相对于传统的机械传感器,MEMS传感器尺寸更小、性能更高、生产成本更低,因此更受业界关注,5G推进MEMS传感器行业增长,国产替代正当时。传感器无处不在,微机电系统(MEMS)市场价值数十亿美元,你对MEMS传感器知晓多少呢?资料显示,MEMS传感器即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所用研制的原位TEM构效关联MEMS表征芯片技术揭示了氧化锌纳米线的纳米尺度效应(图)
原位TEM构效 MEMS 表征芯片技术 氧化锌纳米线 纳米尺度效应
2021/3/19
近日,中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室李昕欣课题组首次采用原位电镜(TEM)观测技术并结合热力学参数测量验证,从原子级层面揭示了氧化锌纳米线纳米尺度的构效关系机理。相关成果以“Quantitative Structure–Activity Relationship of Nanowire Adsorption to SO2 Revealed by In Situ TEM Technique...
一文知道MEMS流量传感器的应用领域
压阻流量传感器 MEMS热流传感器 MEMS压电流量传感器
2022/3/2
近年来,微机电系统(MEMS)技术为生产不同用途的流量传感器提供了广阔的机会。MEMS是在对硅和锗压阻能力进行研究之后于1960年代首次提出的。早些年,MEMS流量传感器是使用聚合物和硅组件以及不同的传感器组件和构造方法制造的。热,基于阻力和基于扭矩的流量传感可能是比较流行的传感技术。将对迄今为止已建成的各种纳米/微米级MEMS流量传感器进行全面概述。根据其传感理论,这三大类是MEMS压阻,热和压...