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随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展，基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多，但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源，其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源，采用了平面螺旋电感线圈和...
