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PECVD项目通过验收
2008/1/16
沈阳科仪中心公司承担的沈阳市科技计划项目——“IC装备等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）产业化”项目，经过1年的努力，全面完成了合同规定的任务，提前半年申请验收。7月19日，沈阳市科技局在沈阳科仪中心公司组织召开了项目验收评审会。评审会专家组认真听取了验收汇报，并进行了现场考察和质询，一致同意通过项目验收。专家组对公司PECVD产品给予了较高的评价：该项目完成了6英寸PECVD设备的研发任...